壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)特點(diǎn):
1、長(zhǎng)行程,理論上無(wú)行程限制
2、超高精度,可迖10納米
3、無(wú)回程間隙,具內(nèi)秉剎車功能
4、無(wú)磁,無(wú)油,無(wú)電磁干擾,真空兼容
5、快速,速度迖300毫米/秒
6、超薄設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊
壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)特點(diǎn):
1、長(zhǎng)行程,理論上無(wú)行程限制
2、超高精度,可迖10納米
3、無(wú)回程間隙,具內(nèi)秉剎車功能
4、無(wú)磁,無(wú)油,無(wú)電磁干擾,真空兼容
5、快速,速度迖300毫米/秒
6、超薄設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊