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探針臺
CL-6系列中端探針臺




CL系列探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動


可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用

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CINDBEST CL-4 | 4~8" 精密I-V測試測量探針臺系統(tǒng)



特點 / 應(yīng)用


滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等.


最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測試


同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動


兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動


可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用


CL-6探針臺,晶圓測試探針臺




臺體規(guī)格

尺寸

4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

4英寸*4英寸/6英寸*6英寸

X-Y移動精度

10微米/1微米

樣品臺Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

樣品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)

針座平臺

U型針座平臺,最多可放置6個探針座

背電極測試

樣品臺電學(xué)獨立懸空,4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高

重量

約40千克/60千克


光學(xué)系統(tǒng):

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素


探針座

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅


可選附件

加熱臺

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

高壓測試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

激光系統(tǒng)

探針卡夾具


PS:探針臺可根據(jù)客戶要求定制。

規(guī)格及設(shè)計如有更改,恕不另行通知。




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