FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀（I-V測(cè)試，C-V測(cè)試，1/f噪聲測(cè)試）
產(chǎn)品特點(diǎn)
√ 一體化測(cè)試
FS-Pro™集成直流測(cè)試，脈沖測(cè)試，瞬態(tài)測(cè)試，電容測(cè)試和低頻噪聲(1/f 噪聲) 測(cè)試于單臺(tái)儀器中，無(wú)需換線和重新探針即可完成全部低頻參數(shù)化表征。
√ 超快速
FS-Pro™引入人工智能驅(qū)動(dòng)測(cè)試技術(shù)，相比傳統(tǒng)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)其測(cè)試速度最高可達(dá)10倍，在強(qiáng)大速度提升的同時(shí)仍保持測(cè)試精度。
√ 模塊化架構(gòu)
FS-Pro™采用模塊化架構(gòu)，在保持緊湊機(jī)身的同時(shí)又可依照需求擴(kuò)展，并且支持多通道并行測(cè)試，最高可達(dá)20路通道，輕松應(yīng)對(duì)高密度生產(chǎn)測(cè)試。
√ 操作便捷
內(nèi)置測(cè)量控制軟件LabExpress™擁有直觀的用戶圖形界面，僅需點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)就可以完成強(qiáng)大的測(cè)試分析功能，同時(shí)可以支持多種探針臺(tái)和矩陣開(kāi)關(guān)等設(shè)備，輕松完成晶圓級(jí)數(shù)據(jù)的自動(dòng)測(cè)試任務(wù)，更針對(duì)半導(dǎo)體制造提供了完善的解決方案。
√ 獨(dú)具特色的1/f噪聲測(cè)試能力
特別對(duì)先進(jìn)制程器件，二維材料器件，光電探測(cè)器的測(cè)試應(yīng)用，1/f噪聲作為器件的本征重要參數(shù)之一，1/f噪聲性能制約著器件的實(shí)際應(yīng)用能力，1/f噪聲廣泛地存在于各種組分和結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件中，同時(shí)又敏感的反映材料和器件的許多潛在缺陷，因此1/f噪聲的測(cè)量和分析成為評(píng)估半導(dǎo)體器件質(zhì)量表征和可靠性的一種新手段。
主要組件性能指標(biāo)
FS380高精度源測(cè)量單元SMU
● 直流測(cè)試
±200V/1A 量程，最高200W輸出功率，最小30fA電流測(cè)量精度，30uV電壓測(cè)量精度，四象限操作
● 脈沖測(cè)試
±200V/3A 量程，最高480W輸出功率，最小5pA電流測(cè)量精度，30uV電壓測(cè)量精度，最小脈沖寬度50us
● 瞬態(tài)測(cè)試
任意波形輸出，最高采樣率1.8MS/s，最小10us時(shí)間步進(jìn)
● 電容測(cè)試（CV）
±200V/1A 量程，10Hz-10kHz帶寬，20fF~1mF測(cè)量范圍
● 1/f噪聲測(cè)試
帶寬0.1Hz-100KHz，1e-28A^2⁄Hz 本底噪聲，200V Bias，8s/bias測(cè)試速度；
FS336 外置LCR模塊
● 電容測(cè)試（CV，CF）
● ±40V量程，40Hz~8MHz帶寬
● 100fF~10mF測(cè)量范圍
Labexpress圖形化測(cè)試軟件
LabExpress™量測(cè)軟件提供完整的直流，脈沖，瞬態(tài)，電容和噪聲測(cè)試功能，內(nèi)建常見(jiàn)MOSFET，BJT，二極管，電阻，電容器件類(lèi)型庫(kù)，測(cè)試類(lèi)型豐富齊全，沒(méi)有器件知識(shí)的新人也可以輕松上手，更針對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠的日常應(yīng)用提供了一整套解決方案。在測(cè)試數(shù)據(jù)分析功能上LabExpress™也毫不遜色，豐富的曲線變換與繪圖功能，常用的代數(shù)運(yùn)算操作，使即時(shí)結(jié)果分析變得更加簡(jiǎn)單。
業(yè)界使用情況
在工業(yè)領(lǐng)域，FS-Pro™已經(jīng)被多家全球領(lǐng)先的設(shè)計(jì)公司和半導(dǎo)體代工廠，IDM和設(shè)計(jì)公司采用，精度，速度和可靠性通過(guò)了嚴(yán)苛的工業(yè)認(rèn)證。在科研領(lǐng)域，F(xiàn)S-Pro™ 已被數(shù)十所大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)所采用，至今已經(jīng)支持了數(shù)十篇高端學(xué)術(shù)論文的發(fā)表。低頻噪音作為一種有效的非損傷性實(shí)驗(yàn)手段越來(lái)越被學(xué)者們認(rèn)可，F(xiàn)S-Pro™作為唯一的集成噪音測(cè)試功能的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀在前沿新材料新器件研發(fā)工作中越來(lái)越不可或缺。
