深入了解中端探針臺及其關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)
中端探針臺包括多種型號，其中比較典型的是CL-6系列中端探針臺。CL-6系列中端探針臺有4英寸、6英寸和8英寸三種規(guī)格，適用于不同尺寸的樣品測試。
關(guān)于CL-6系列中端探針臺的技術(shù)參數(shù)，主要包括以下幾個方面：
臺體規(guī)格：臺體尺寸為4英寸、6英寸或8英寸，可根據(jù)需要選擇適合的尺寸。
水平旋轉(zhuǎn)：臺體可360度旋轉(zhuǎn)，微調(diào)范圍為15度，精度為0.1度，并帶有角度鎖死裝置，以確保測試的穩(wěn)定性。
X-Y移動行程：X-Y軸移動行程為4英寸×4英寸或6英寸×6英寸，可根據(jù)需要選擇適合的行程范圍。
X-Y移動精度：X-Y軸移動精度為10微米或1微米，可根據(jù)需要選擇適合的精度等級。
樣品臺Z軸調(diào)節(jié)：樣品臺可升降10mm，方便調(diào)節(jié)樣品高度。
樣品固定：樣品臺采用真空吸附、中心孔吸附或多圈吸附環(huán)等方式固定樣品，確保樣品在測試過程中的穩(wěn)定性。
針座平臺：U型針座平臺可容納最多6個探針座，方便進(jìn)行多點(diǎn)測試。
背電極測試：樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，可通過4mm插孔接入背電極進(jìn)行測試。
此外，CL-6系列中端探針臺還具有多種光學(xué)系統(tǒng)配置可選，包括單筒顯微鏡、體式顯微鏡、金相顯微鏡等，放大倍率從16X到4000X不等，可根據(jù)需要選擇適合的顯微鏡類型和放大倍率。同時，該探針臺還配備了外置LED環(huán)形光源或同軸光源，以及200萬像素、500萬像素或1200萬像素的CCD等圖像處理設(shè)備，以提高測試的精度和效率。
需要注意的是，以上技術(shù)參數(shù)僅為CL-6系列中端探針臺的典型配置，實(shí)際參數(shù)可能因具體型號和用戶需求而有所不同。因此，在選擇探針臺時，建議根據(jù)具體的應(yīng)用需求和測試要求來選擇合適的型號和技術(shù)參數(shù)。
