-
探針臺(tái)怎么選合適的配置，怎么確定精度？
通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型：
1、最大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？
2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？
3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡最大倍率200倍）
5、最多需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？
6、會(huì)測(cè)試到的最大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）
7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀?yuàn)A具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：最小能測(cè)到的電流的量級(jí)）
8、是否會(huì)用到探針卡？
9、光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
10、顯微
2018-11-0910139
-
2018-11-085102
-
直流輝光放電中等離子體診斷實(shí)驗(yàn)操作指導(dǎo)手冊(cè)
2018-11-065208
-
近代物理實(shí)驗(yàn)“氣體放電中等離子體的研究”出實(shí)驗(yàn)設(shè)備啦，一次由理論到實(shí)踐的轉(zhuǎn)變就從SSV-40開始
背景：實(shí)驗(yàn)“氣體放電中等離子體的研究”為大學(xué)近代物理實(shí)驗(yàn)中的必修實(shí)驗(yàn)之一，但是一直以來(lái)都沒有公司或者是個(gè)人生產(chǎn)出完整的相對(duì)應(yīng)的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，因此該實(shí)驗(yàn)一直處于紙上談兵的狀態(tài)，今天由東北大學(xué)真空與流體工程研究所教授團(tuán)隊(duì)針對(duì)此實(shí)驗(yàn)經(jīng)過(guò)多年的研究，終于開發(fā)出SSV-40型氣體放電與等離子診斷儀，并且面向全國(guó)各高校發(fā)售，從此實(shí)驗(yàn)“氣體放電中等離子體的研究”從理論走向?qū)嵺`，從書本走向現(xiàn)實(shí)。
產(chǎn)品信息：
整套設(shè)備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測(cè)量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)等部分組成。
朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨(dú)立控制并且自由調(diào)節(jié)。
利用該裝置可實(shí)現(xiàn)的主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容有：
1
2018-10-246047
-
探針臺(tái)系統(tǒng)剖析
探針臺(tái)系統(tǒng)分為手動(dòng)探針臺(tái)與自動(dòng)探針臺(tái)，以下我們主要分析手動(dòng)探針臺(tái)：
探針臺(tái)用途：
手動(dòng)探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。
探針臺(tái)系統(tǒng)組成：
探針臺(tái)臺(tái)體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測(cè)試源表（請(qǐng)注意無(wú)測(cè)試源表就構(gòu)成不了系統(tǒng)，探針臺(tái)只是提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，一切數(shù)據(jù)的測(cè)量都需要依靠測(cè)試源表來(lái)完成）
探針臺(tái)測(cè)試環(huán)境：
可提供的測(cè)試環(huán)境有：常溫、高溫、高低溫測(cè)試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場(chǎng)環(huán)境。
2018-10-055173
