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探針臺系統(tǒng)剖析
2018-10-055174

探針臺系統(tǒng)剖析


探針臺系統(tǒng)分為手動探針臺與自動探針臺,以下我們主要分析手動探針臺:


探針臺用途:

手動探針臺又稱探針測試臺主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。


探針臺系統(tǒng)組成:

探針臺臺體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表(請注意無測試源表就構(gòu)成不了系統(tǒng),探針臺只是提供一個測試平臺,一切數(shù)據(jù)的測量都需要依靠測試源表來完成)



探針臺測試環(huán)境:

可提供的測試環(huán)境有:常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環(huán)境。


依靠探針臺能勝任的測試有:

序號

根據(jù)測試樣品分類

序號

根據(jù)應用分類

1

晶圓測試

1

射頻測試

2

LED測試

2

高溫環(huán)境測試

3

功率器件測試

3

低電流(100fA 級)測試

4

MEMS測試

4

I-v/c-v/p-iv測試

5

PCB測試

5

高壓,大電流測試

6

液晶面板測試

6

磁場環(huán)境測試

7

太陽能電池片測試

7

輻射環(huán)境測試

8

材料表面電阻率測試

9

積分球測試