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帶你了解CM-4簡(jiǎn)易探針臺(tái)
CM-4簡(jiǎn)易探針臺(tái)是一款功能齊全、操作簡(jiǎn)便的測(cè)試設(shè)備，適用于多種測(cè)試需求，如I-V/C-V、PIV測(cè)試以及光電測(cè)試等。該設(shè)備特別適合對(duì)6英寸以內(nèi)的樣品進(jìn)行測(cè)試。
其主要特點(diǎn)包括：
同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，使得探針臺(tái)在X-Y方向上移動(dòng)精度高，可達(dá)10微米。同時(shí)，臺(tái)體規(guī)格可選擇4英寸或6英寸，滿足不同測(cè)試需求。
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)可升降10mm，滿足不同高度的樣品測(cè)試需求。
樣品固定方式采用真空吸附，確保樣品穩(wěn)固。
可放置于手套箱內(nèi)使用，方便進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn)操作。
形狀輕巧，操作方便，價(jià)格實(shí)惠。
探針夾具安裝靈活，可以根據(jù)需要進(jìn)行上下調(diào)節(jié)位置。同時(shí)，匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)，使測(cè)試過(guò)程更加穩(wěn)定可靠。
配備轉(zhuǎn)接頭，便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。
可與顯微鏡配合使用，提高測(cè)試精度。
總的來(lái)說(shuō)，CM-4簡(jiǎn)易探
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探針臺(tái)怎么選合適的配置，怎么確定精度？
通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型：
1、最大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？
2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？
3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡最大倍率200倍）
5、最多需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？
6、會(huì)測(cè)試到的最大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）
7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀?yuàn)A具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：最小能測(cè)到的電流的量級(jí)）
8、是否會(huì)用到探針卡？
9、光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
10、顯微
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直流輝光放電中等離子體診斷實(shí)驗(yàn)操作指導(dǎo)手冊(cè)
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